縞投影技術を応用して短時間で広範囲をミクロンレベルのうねりや反り検査・計測が可能
特長
◆平板やシート平面のうねりや反り の検査・計測が可能
◆高速計測が可能:2秒
◆広範囲計測が可能:□300mm
用途
◆セラミック板(セラミックベースプレート)
◆フイルムシート
◆紙
◆自動車ボディー、ブレーキパッド
検査仕様
|
項 目 |
仕 様 |
1 |
測定原理 | 縞解析法 |
2 |
検出項目 | うねり、反り |
3 |
測定視野サイズ | □300mm |
4 |
測定分解能 | XY 200μm Z 1μm |
5 |
高さ測定レンジ | 1000μm |
6 |
高さ測定精度 | 20μm |
7 |
測定スピード | 2秒 |
8 |
撮像(処理)画素数 | 2048×2048(400万画素) |