2026.11.10
2026年11月10日(火)～13日(金)にドイツ・ミュンヘンのメッセ・ミュンヘン(Messe München)で開催される「SEMICON Europa 2026」において、ウェーハ表面検査装置WM＋シリーズの「WM-7SR+」「WM-10R+」の特長や仕様をパネルでご紹介いたします。展示は、当社の欧米独占代理店であるClassOne Equipment, Inc.(本社：米国ジョージア州アトランタ)のブース(B0 424)にて行います。
欧米では、長年使用されてきたパーティクル検査装置の保守部品や技術者の確保が難しくなりつつあり、装置更新のニーズが高まっています。WM＋シリーズは、2～12インチの幅広いウェーハサイズに対応し、長期使用に対応した信頼性と低ランニングコストを両立したパーティクル検査装置として、こうしたニーズにお応えします。欧州・北米では、ClassOne Equipment社が販売から据付、保守サービス、部品供給までを一貫してサポートいたします。
今回は、デバイスメーカー、装置メーカー、ウェーハ・材料メーカー、研究機関などを対象に、WM＋シリーズの特長をご紹介いたします。ぜひ、ClassOne Equipment社のブースへお立ち寄りください。
| 開催日程： | 2026年11月10日(火)～13日(金) |
| 開催時間： | 9:00～18:00（最終日のみ15:00まで）※現地時間 |
| 開催場所： | ドイツ・ミュンヘン メッセ・ミュンヘン(Messe München) ※electronica 2026と同時開催 |
| ブース番号： | B0 424（ClassOne Equipment, Inc.ブース） |
| 公式HP： | https://www.semiconeuropa.org ご来場には、公式サイトでの来場登録（チケットの取得）が必要です。 ▽来場登録はこちら https://www.semiconeuropa.org/about/register |
| WM-7SR+ | WM-10R+ | |
|---|---|---|
| 最高検出感度（Bare-Si） | 79nm（61nm optional） | 48nm |
| ウェーハサイズ | 2～8inch | 4～12inch |
| ダイナミックレンジ | 79nm～5.0μm | 48nm～5.0μm |
| 装置サイズ（mm） | W860 × D905 × H1655 | W1530 × D1242 × H1955 |
| 安全認証 | SEMI, FDA, CE, UKCA 準拠 | SEMI, FDA, CE, UKCA 準拠 |
