2023.11.01
| Major Specification | WM-7SR | WM-10 |
| 最高検出感度（ベアSi） | 0.079μm(0.061μm optional) | 0.048μm |
| ウェーハサイズ | 2inch～8inch | 4inch～12inch |
| スループット |
55wph@8inch 60wph@6inch |
70wph@12inch |
| ダイナミックレンジ | 0.079μm～5.0μm | 0.048μm～5.0μm |
| 装置サイズ（mm） | W860×D900×H1650 | W1482×D1173×H1950 |
| 安全認証 | FDA,CE,SEMI | FDA |
| 開催日程： | 2023年11月14日(火)～17日(金) |
| 開催時間： | 09:00～18:00(最終日のみ 16:00まで) (現地時間) |
| 開催場所： | Messe München, München, Germany（ドイツ ミュンヘン） |
| ブース番号: | B0-720 |
| 公式HP： | https://www.semiconeuropa.org/ |
