新製品情報（ 画像検査修正装置 ）

2008年11月26日発売
太陽電池等で使用される多結晶シリコンウェハの外観上判断不能な超微細な亀裂（マイクロクラック）を高い検出精度で検査可能な太陽電池ウェハマイクロクラック検査システム。
１．多結晶シリコン粒界面による誤検出等を大きく低減
２．幅広いウェハーサイズに対応
３．高速測定
４．独自画像処理技術による解析

→太陽電池ウェハ マイクロクラック検査装置の製品情報